NanoX-2000/3000系列 3D干涉轮廓仪

               NanoX-2000                                NanoX-3000                                   NanoX-S

         NanoX-2000/3000系列3D干涉轮廓仪采用垂直扫描干涉和移相干涉技术，实现对样品表面粗糙度、台阶高度、关键部位尺寸及其形貌特征的纳米级三维精密测量。广泛应用于微电子、MEMS、太阳能电池工艺、材料表面工程、超精密加工等领域。

       ● 关键硬件采用德国、日本等品牌

       ● 测量精度重复性高
       ● 配备进口第三方校准标准件
       ● 高性价比微观形貌测量设备
       ● 迅捷的售后服务

NanoX-2000经典应用方向：

NanoX-S 应用方向：

太阳能测量应用方向：

国内数家上市企业12寸封装产线配置NanoX-2000测试设备

NanoScopy 光机电一体化系统软件：
       ● 光机电一体化软硬件集成
       ● 缩放、定位、平移、旋转等三维图像处理
       ● 自主设定测量阈值，三维处理自动标注
       ● 测量模式可根据需求自由切换
       ● 三维图像支持高清打印
       ● 菜单式参数设置，一键式操作，人机界面个性直观
       ● 个性化软件应用支持
       ● 可进行软件在线升级和远程支持服务

中国计量院认证书：

满足您需求而设计的测量设备
覆盖范围广： 兼容多种测量和观察需求
保护性： 非接触式光学干涉测量
可操作性：“一键式”操作更简单
智能化：特殊形状智能计算特征参数
个性化： 定制化测试报告

更好用户体验： 迅捷的售后服务，个性化应用软件支持